ウエハー移替治具(6インチ・5インチ専用)

ウエハープロセス製造装置間にて、専用カセットから洗浄用カセットへのウエハー移し替えをします。
傾斜を利用して、スロー動作にてウエハーへ衝撃が無い様にしております。