フレキホース ピンホール検査機(プラズマ放電)

[検査機械]

フレキホース ピンホール検査機 (プラズマ放電タイプ)

■概要: ウェット式、フレキホースのピンホール検査機
■依頼: 産学官共同開発/検査機械

産・学・官で共同開発した、プラズマ放電(20KV)利用のピンホール検査機。液晶硝子基板製造工場内のガス配管システムで、環境設備のフレキホース内部欠陥・ピンホール穴を特定するための専用ピンホール検査機です。
ステンレスのフレキホースや内面にテフロンコーティングした管内にプラズマ放電をし、その電気抵抗を測定してピンホール箇所を検出するシステムとなっています。