ウェハスピンドライヤー

ウェハスピンドライヤー
洗浄後のウェハをセットし回転させ、両面の洗浄液を飛ばし乾燥させる、枚葉式のウェハドライヤーです。
卓上サイズで6インチ~8インチのウェハに対応しております。