側面から見た全容です。 上部は機械部で、下部は乾空制御および電気制御部です。14軸のサーボモーター制御機能があります。

基板にデバイスを挿入、あるいは抜き取りするための上部ユニットです。

基板内のデバイスを挿入あるいは抜き取りし、基板ローダー・アンローダーより、受け渡しをするユニットです。

基板ローダー、アンローダー専用送り部です。基板の受け渡しをするユニットです。

パレット専用ローダー・アンローダーにて、空または実パレットをセット。エレベーション機能を持ち、パレットのセパレート及び搬送機能を持っています。

パレタイジングするための、直行座標型ロボットの外観です。２hｅadの吸着システム機能を設けています。