 クリーンベンチ（局所クリーンブース） |
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半導体製造工場における、局所的なクリーン化を実現するためのブースです。
（洗浄度：クラス１０～１００） |
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| ロボット専用台車 |
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液晶硝子基板製造工場にて、円筒型ロボットの取替え専用としての台車です。ロボット単体のバランス保持構造を持ち、安全に運搬することができます。 |
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| ウェハーカセット専用台車 透明タイプ |
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半導体製造前工程でウェハー入り専用のカセットを8個運ぶことが出来ます。
5インチ、6インチ専用として、静電対策・防塵対策・振動対策を兼ね備えております。 |
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| タンク専用 運搬台車 |
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液晶硝子基板製造工場にて使われております。
コンパクトガスボンベを運搬するための専用台車です。
ボンベの形状に合わせた固定構造にて横転すること無く安全に運搬可能です。 |
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| 製造装置専用 防塵カバー |
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半導体製造前工程の製造装置専用としての防塵カバーです。
装置前に人が横切る際での発塵をカバーします。
そのため高さが人の身長より高くした構造です。 |
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| ウェハーカセット専用台車 黒タイプ |
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半導体製造前工程でウェハー入り専用のカセットを8個運ぶことが出来ます。
5インチ、6インチ専用として静電対策・防塵対策・振動対策を兼ね備えております。このタイプでは照明による製品への保護もできます。 |
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| 専用パンチング台車 |
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液晶硝子基板製造工場にて使われている、汎用型パンチング台車です。
台は穴の空いたステンレス材にて、ごみを蓄積させない構造になっております。
汎用性多種用途に使用可能です。 |
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